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硅單晶紅外濾光片的特點

硅紅外濾光片旨在降低直拉硅單晶氧含量，提高硅紅外濾光片透過率的硅片熱處理工藝。其特征是將硅片在400-1000℃溫度間的四段溫區(qū)逐步升溫并保溫適當時間并在硅片冷卻至850℃以下時取出，處理后的直拉硅單晶片在9um處的透過率接近或達到區(qū)熔硅單晶的水平，用熱處理后的廉價直拉硅單晶片制造的紅外濾光片，可滿足紅外儀器設(shè)備所需紅外濾光片的要求，大大降低了濾光片的成本。　　硅紅外濾光片的熱處理工藝，包括硅片的

2018-04-11